一、K型擴散泵概述:
K型擴散泵亦K型金屬油擴散泵用于高真空和超高真空抽除高真空系統中對工作液體無嚴重危害的氣體,它不能直接對大氣排氣,需要配置前級泵。K型擴散泵應用于電子(zi)工業(ye)、化(hua)工、原子(zi)能工業(ye)、空(kong)間模(mo)擬試驗。
二、K型擴散泵工作原理:
當前級泵將擴散泵內抽至此10pa左(zuo)右的(de)(de)預真(zhen)空后(hou),在(zai)室溫下具有低飽和蒸汽(qi)(qi)壓的(de)(de)工作(zuo)液,由(you)加熱器(qi)加熱,產生的(de)(de)油蒸汽(qi)(qi)沿(yan)蒸汽(qi)(qi)導管向上運動,經幾級噴(pen)嘴定向,高速噴(pen)出,將擴(kuo)散在(zai)油蒸汽(qi)(qi)中(zhong)的(de)(de)氣體帶到(dao)前級端。由(you)前級泵排除到(dao)大氣中(zhong),油蒸汽(qi)(qi)噴(pen)射(she)在(zai)泵壁后(hou),遇到(dao)冷卻后(hou),又流(liu)回(hui)到(dao)泵底,由(you)此重復工作(zuo),從而達到(dao)高真(zhen)空目的(de)(de)。 |