滑閥式真空泵的抽氣原(yuan)理與旋(xuan)片(pian)泵相似，但兩者結(jie)構(gou)不(bu)同。滑(hua)閥式真(zhen)空(kong)泵是(shi)利用滑(hua)閥機構(gou)來改變吸氣腔(qiang)容積的，故稱(cheng)滑(hua)閥泵。
滑(hua)閥泵(beng)亦分(fen)單(dan)級泵(beng)和(he)雙級泵(beng)兩種(zhong)，有立式和(he)臥式兩種(zhong)結構(gou)形(xing)式。單(dan)級泵(beng)的極限壓力為0.4～1.3Pa；雙級泵(beng)的極限壓力為6×10-2 —10-1Pa。一(yi)般抽(chou)速超過(guo)150L/S的大泵(beng)都采(cai)用(yong)(yong)單(dan)級形(xing)式。這種(zhong)泵(beng)可(ke)(ke)單(dan)獨(du)使(shi)用(yong)(yong)，也可(ke)(ke)作(zuo)其它泵(beng)的前(qian)級泵(beng)用(yong)(yong)。
1．工作原理
滑閥泵的(de)結(jie)構主要由(you)泵體及在其內部作偏心轉動的(de)滑閥、半(ban)圓形的(de)滑閥導軌、排氣閥、軸(zhou)等組成(見(jian)圖1)。
圖(tu)(tu)1：滑(hua)閥式真空泵結(jie)構原(yuan)理圖(tu)(tu)
泵(beng)(beng)體(ti)中(zhong)裝有滑(hua)(hua)閥(fa)環(huan)(huan)(4)，滑(hua)(hua)閥(fa)環(huan)(huan)內裝有偏心(xin)輪(3)，偏心(xin)輪固定在(zai)(zai)(zai)(zai)軸(2)上，軸與泵(beng)(beng)體(ti)中(zhong)心(xin)線相重合。在(zai)(zai)(zai)(zai)滑(hua)(hua)閥(fa)環(huan)(huan)上裝有長方形的滑(hua)(hua)閥(fa)桿(gan)(5)，它能在(zai)(zai)(zai)(zai)半圓形滑(hua)(hua)閥(fa)導軌(7)中(zhong)上下滑(hua)(hua)動及左右擺動，因此泵(beng)(beng)腔(qiang)被滑(hua)(hua)閥(fa)環(huan)(huan)和(he)滑(hua)(hua)閥(fa)桿(gan)分(fen)隔(ge)成A、B兩室。泵(beng)(beng)在(zai)(zai)(zai)(zai)運轉過程中(zhong)，由于A、B兩室容(rong)(rong)積(ji)周(zhou)期性地改變，使(shi)被抽氣(qi)體(ti)不斷進(jin)入逐漸增大容(rong)(rong)積(ji)的吸(xi)氣(qi)腔(qiang)；同時(shi)，在(zai)(zai)(zai)(zai)排氣(qi)腔(qiang)隨(sui)著其容(rong)(rong)積(ji)的縮小而使(shi)氣(qi)體(ti)受壓縮，并通過排氣(qi)閥(fa)排出(chu)泵(beng)(beng)外(wai)。
雙級型的滑閥泵，實際上是由兩個單級泵串聯起來的。它的高、低真空室在同一泵體上，有的是直接鑄成一個整體，有的是壓入中隔板把泵腔分成高、低兩室。
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