真空漏率測量的辦法是以示漏物質夜蓋被橙容器的整個可疑區(或者被檢容器內充人示漏物質)，另一側抽真空(或是大氣);或是在被檢容器的內外兩側形成壓差(或示漏物質的濃度差)，在低壓(或低濃度)側側2示漏物質的漏率
和濃度變(bian)化。
(1)加壓條件下容器(qi)漏(lou)率的(de)測定
在加壓條件下測童容器(qi)漏(lou)(lou)率的方(fang)法(fa)(fa)(fa)(fa)有(you):氣泡法(fa)(fa)(fa)(fa)、超聲法(fa)(fa)(fa)(fa)、氣敏(min)半導(dao)體檢漏(lou)(lou)儀法(fa)(fa)(fa)(fa)、氨檢漏(lou)(lou)法(fa)(fa)(fa)(fa)、鹵(lu)素檢漏(lou)(lou)儀法(fa)(fa)(fa)(fa)、氮質譜檢漏(lou)(lou)儀法(fa)(fa)(fa)(fa)等。
(2)真(zhen)空條件下(xia)容器漏率(lv)的(de)測定
①利用(yong)接人真空容(rong)器(qi)的(de)真空規、離子泵及殘氣分析質譜計來測(ce)定容(rong)器(qi)的(de)漏率(lv)。
②可以(yi)選用流盆測(ce)量、壓力測(ce)量、鹵素檢漏儀(yi)以(yi)及氮質譜(pu)檢漏儀(yi)等方法來測(ce)全(quan)漏率。
(3)密(mi)封件的無損檢(jian)漏
①盡量利用密封件上可用來指示密封器件內部壓力和示漏物質分壓力的規管和殘氣分析質譜計等進行檢漏。
②有(you)些原來不是測(ce)量(liang)壓力(li)的(de)裝置(zhi)，如:電子(zi)管、顯像管等，若改換(huan)饋電方(fang)式(shi)，將(jiang)其電極接(jie)成(cheng)電離規(gui)的(de)方(fang)式(shi)，測(ce)全出管內離子(zi)流(liu)的(de)變(bian)化(hua)，便可知管內壓力(li)的(de)變(bian)化(hua)率(lv)。大批量(liang)生產這(zhe)類器件(jian)時，可以通(tong)過校(xiao)準的(de)方(fang)法把離子(zi)流(liu)的(de)變(bian)化(hua)率(lv)直(zhi)接(jie)換(huan)算成(cheng)漏率(lv)。
③如果密封件內部具有可作為(wei)示漏(lou)(lou)的物質時(shi)，采用動態法或靜態法對漏(lou)(lou)到(dao)外面的示漏(lou)(lou)物質進(jin)行檢測(ce)，就可測(ce)出漏(lou)(lou)孔來(lai)。通常這類密封件內部的示漏(lou)(lou)氣體(ti)的分壓力要比采用背壓法時(shi)的壓力為(wei)高。因此，檢漏(lou)(lou)靈敏(min)度高，費用低(di)。
④背(bei)壓法(fa)檢(jian)漏適(shi)用于成批生產小型密封件時的檢(jian)漏;可(ke)以使用鹵素檢(jian)漏儀(yi)，氮質譜檢(jian)漏儀(yi)，放射性同(tong)位素等(deng)檢(jian)漏方法(fa)和儀(yi)器。 |
